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該氣敏測試真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微

氧化鋁陶瓷基底叉指電極：線寬線距可精確控制到5到200μm。鈺芯常規(guī)氧化鋁陶瓷基底叉指電極可耐250°C高溫。具有高導(dǎo)熱和高介電常數(shù)的特性，經(jīng)常作為傳感器，聲表面波濾波器，微波射頻等電信號傳輸核心部件，廣泛應(yīng)用于移動通信、醫(yī)療檢測、環(huán)境在線監(jiān)測等重要領(lǐng)域。氧化鋁陶瓷基底叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T純銀加熱臺，不易氧化，導(dǎo)電性更好，性價比高。

鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結(jié)構(gòu)采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機中，抽真空后，先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層，再蒸鍍1000Å 厚度的金層，后升溫到 300℃進行熱處理以增強鉻金層的黏附性。鉑金叉指電*低溫探針臺是一款專門用于叉指電極的經(jīng)濟型探針臺。

叉指微電極因其微小的電極間距結(jié)構(gòu)可用于各種小型化傳感器。對于傳統(tǒng)分析檢測，包括色譜法、光譜法、質(zhì)譜等方法，大多都需要昂貴的儀器和多種操作步驟，使得許多實際問題仍面臨困難。開發(fā)高靈敏度、低成本，小型化的傳感器尤為重要。微電容單通道叉指電*低溫探針臺KT-Z4019MRL4T是一款專門用于叉指電極的經(jīng)濟型探針臺。可高溫400℃低溫-196℃ 測試噪聲小于5E-13A 可擴展上下雙透視窗口。